教學內容
●MOS元件物理與VSLI製程實務基礎
電子學
半導體元件與積體電路
●CVD 製程設備簡介
CVD製程技術概觀
CVD薄膜製程設備
CVD主機系統及周邊設備介紹
CVD反應室介紹
●PVD 製程設備簡介
PVD製程技術概觀
PVD薄膜製程設備
PVD主機系統及周邊設備介紹
PVD反應室介紹
●薄膜設備次系統與元件
熱交換系統
真空系統與測漏原理、壓力計及技術
電漿/微波系統及射頻產生器
步進式伺服式馬達與機械手臂介紹
氣體盤及傳送系統/氣體流量控制系統
●半導體廠務與設施
●設備維護與故障排除
預防保養與故障排除觀念
●實習與課程驗收
優惠辦法
總費用$96,000/學員自付$32,000/經濟部工業局補助$64,000